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近日，國泰基金中證半導體材料設備主題ETF獲批，有望于近期發行。此外，6月28日，易方達基金、富國基金、華夏基金、廣發基金均上報了中證半導體材料設備主題ETF，目前證監會已接收相關材料。研究機構認為，光刻機、關鍵核心層的刻蝕、金屬層的薄膜沉積、離子注入、檢測設備等難度較大的設備目前國內替代率低，從工藝制程覆蓋角度看，國內主流設備廠商在多個環節可覆蓋28nm及以上的應用可實現對下游的批量供應。此外，從芯片自身景氣周期來看，行業庫存去化顯著且終端需求逐漸回暖，全球智能手機出貨量同比增速回升，同時AI為行業帶來新的增長動能，下半年景氣周期拐點或將顯現。

據了解，中證半導體材料設備主題指數從滬深市場中，選取40只業務涉及半導體材料和半導體設備等領域的上市公司證券作為指數樣本，成分股包括雅克科技 （002409） 、晶盛機電 （300316）等。

華寶證券指出，半導體材料和設備作為半導體產業鏈的上游，高端領域長期被歐美日韓企業壟斷。在美國不斷加碼半導體管控措施的背景下，中國在半導體材料和設備領域自主可控，逐步實現國產替代意義重大，是值得重點關注的半導體細分領域。

海通證券此前曾指出，半導體設備材料國產替代確定性不斷深化，作為晶圓制造核心，半導體設備及零部件板塊投資機會顯現，優質半導體設備零部件龍頭企業包括北方華創、拓荊科技、盛美上海、中微公司、長川科技、富創精密；同時，半導體材料作為制造后周期賽道，用量將伴隨2021-2022年資本開支投放不斷上升，建議關注標的包括鼎龍股份、安集科技、滬硅產業、德邦科技等；此外，晶圓制造端，國內代工廠也將在國家大基金扶持下不斷拓展先進制程工藝，實現技術縱向拓展，建議關注中芯國際。

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