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6月30日消息,從中國電子科技集團獲悉,該集團旗下中電科電子裝備集團有限公司已實現離子注入裝備28納米工藝制程全覆蓋,有力保障我國集成電路制造行業在成熟制程領域的產業安全。
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微資訊!國產離子注入設備實現28納米工藝全覆蓋
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